저탄소 수소에너지 분야의 미래를 열어 갑니다!

배너 및 기타안내

상담문의

We will hear customer’s Sound always.

T. 070-4291-6109

M. 010-7317-7743

F. 070-7966-4743

 geonha3898@naver.com

근무시간안내 : 09:00 ~ 18:00

제품사양

제품사양 목록
항 목 내 용
Vertical Resolution VSI, VEI < 0.5nm, VPI < 0.1nm
Rateral Resolution 0.05~7.2㎛(Depends on magnification)
Height Repeatability ≤0.1% @ 1σ(Standard Height)
Objective Lens 5 Selectable(Automatic)
Zoom Lens 3 Selectable(Automatic)
Camera Format 1/2” mono CCD(option : 1/3” or 2/3”)
Scan Method Piezo@Capacitive Sensor Closed loop(Linearity error ≤0.05%)
Scan Range ≤300㎛(option ≤10mm@Motor)
Scan Speed 7.5㎛/sec(1x) / 22.5㎛/ sec(3x)
IILumination White LED / Green LED
Filter 2 Filter(Automatic)
X/Y Axis Stroke 600 X 600mm(Automatic)
Z Axis Stroke 50mm(Automatic)
Tilt Aixs Stroke NO
Work Table Size 650 X 650mm
Max Workpiece Load ≤10kg
Layout Size 22000mm(W) X 1800mm(D) X 2100mm(H)
Total Weight about 1,500kg
Auto Focus YES
Stitching YES
Software Surface View / Surface Map @ window 10 64bit
Vibration Isolation Passive Type(Vertical Resonance : 1.5Hz)
Input Power 2∮, 110V/220V(±10%), 50/60Hz

제품특징

  • Master Model
  • 반복성, 정확성, 재현성 우수
  • 프레임 일체형
  • 자동 렌즈 터렛
  • 우수한 Capacity Sensor
  • 필터 자동
  • 정합 기능
  • Auto Focus 기능
  • 줌렌즈 3개 장착
  • 자동, 반자동, 수동 측정 모드

적용분야

구분 내용
Stud Bump 지름, 높이, 부피, 거칠기, 각도
CMP Warpage, 거칠기
CVD 거칠기
Wafer Warpage, 스크래치, 거칠기

구분 내용
Photo Space 지름, 높이, 폭, 부피
RGB 두께, 거칠기, BM 두께
TFT Pattern 높이, 폭, 거칠기
BLU 각도, 폭, 높이, 거칠기
Metal Jet 폭, 높이, 각도, 거칠기
Glass Defect 형태, 폭, 높이
OLED 증착 높이, 각도, 부피

구분 내용
Substrate (Pad, Trace, Space, Anchor, Land, Ball Pad, Via Hole, Dimple, SR) 높이, 폭, 깊이, 지름, 두께, 부피, 거칠기, Roundness
BGA Ball 높이, 지름, Coplanarity

구분 내용
MEMS 높이, 폭
Precision machine part 거칠기, 높이, 폭
Laser Marking 깊이, 부피
Inkjet 부피, 높이, 면적
Micro Lens 곡률, 높이
RFID 높이, 폭, 거칠기

상단으로 이동